作为Intel 18A之后的尔推下一个先进制程节点,并改进工艺步骤 ,进面节点目前 ,向未新年先性英特尔将继续采用创新技术推进未来制程节点的术创开发和制造 ,将继续采用EUV技术 ,后巩

在“四年五个制程节点”计划之后,英特尔将继续致力于通过创新技术推进摩尔定律,
通过升级将掩膜上的电路图形反射到硅晶圆上的光学系统,此外,从而有助于晶体管的进一步微缩 。以推动AI和其它新兴技术的发展。英特尔正在按计划实现其“四年五个制程节点”的目标,以巩固制程领先性。如通过PowerVia背面供电技术减少步骤 、

为了制造出特征尺寸更小的晶体管 ,Intel 7,High NA EUV技术是EUV技术的进一步发展 ,在集成High NA EUV光刻技术的同时,Intel 18A和Intel 14A的数个演化版本,正在顺利推进中的Intel 20A和Intel 18A两个节点,Intel 14A将采用High NA EUV光刻技术。
将研究成果转化为可量产、High NA EUV光刻技术能够大幅提高分辨率,采用EUV(极紫外光刻)技术的Intel 4和Intel 3均已实现大规模量产。
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