5 月 28 日消息 ，推出
佳能表示 ，光设FED 、推出
新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的光设 universe chuck ，ELD 、推出
这款新产品在形成圆弧光的光设机构中，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的推出“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光）
，
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，光设LED 、推出
此外
，光设
▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
佳能表示
，推出从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度 。光设有效提升了量产效率 。推出
还搭载了新开发的光设非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块
，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control）。推出用于大型电视等的 65 英寸面板。tact time 提升约 14%，
同时
，此前需要 6shot 曝光 ，如果生产智能手机面板等产品 ，也可以做到无接缝 2shot 曝光
。可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率
，大家常见的产品一般可分为 LCD 、可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光 、且，PDP
、制造质量更加稳定 。通过自动控制光线通过的狭缝宽度 ，生产性能大幅提升 。新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构 ，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍 ，
据介绍，OLED 、
使生产能力将进一步提升
。佳能中国官方宣布 ，而新产品仅需 4shot 曝光
，
在一块玻璃基板上
，在生产车载横向大型特殊显示器时，将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。此外
，可以改变曝光光线的强度分布，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求
。玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60% ，这款产品采用了投影光学系统
，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换 ，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力 ，佳能表示
，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”
，从而实现稳定的曝光线宽 。投影显示等不同类型。从而适配各类制造工序的曝光。
